ZnO作為一種新型的光電材料，在光波導、半導體紫外激光器、發(fā)光器件、壓電傳感器和透明電極等方面有著廣泛的應用。

本文江西國材科技有限公司綜述了在不銹鋼襯底上制備ZnO薄膜的方法和工藝。

1.使用設備：

FJL560A超高真空磁控管和離子束組合濺射設備

Thermo Fisher Apreo 2s場發(fā)射掃描電子顯微鏡

2.鍍膜步驟：

⑴ 基片清洗：依次用丙酮和酒精超聲波清洗15分鐘，用氮氣吹干

⑵ 鍍膜操作各項數(shù)據(jù)：

⑶ 鍍膜后處理: 氣壓0.8 Pa，在200攝氏度下加熱2小時

3.膜厚數(shù)據(jù)：

4.不銹鋼基片鍍ZnO膜層測試SEM圖譜：

ZnO薄膜具有一些優(yōu)越的光電性能，因此，ZnO薄膜在一些光電器件的制備方面有其獨特的優(yōu)勢。

利用ZnO薄膜開發(fā)電性能更好的透明電極、發(fā)光元件、太陽能電池窗口材料、光波導材料、場發(fā)射低壓平板顯示材料等具有非常廣闊的前景。